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反射式配置数字全息显微镜，无需扫描，非接触式测量动、静态物体三维样貌及振动特性的测量方法。根据波长的不同将反射式DHM分为三种型号：
R1000-配备单一光源，是测量光滑表面和振动的标准测量工具
R2100-同时配置双波长，实现复杂或不连续结构的测量。
R2200-在R2100基础上多了第三方光源来扩展测量能力，特别是测量透明模式。
反射式DHM的特性：
快速3D样貌测量法 | MEMS分析，**频率可达25Mh |
DHM测量表面三维样貌，单一响应，无需扫描机制。****的快速采集，相机速度达1000fps允许： 可变形样品的3D动态研究 常规检查与高生产率 短余辉荧光屏及大型表面的分析 捕捉生产线的三维地貌 | 同步DHM 可选频闪单元，测量MEMS装置的激励信号。这一独特数据分析提供： 三维地貌的时序 共振频率和响应 振动振幅平面外分辨率可达5pm，平面内可达1nm 表征复杂运动和样品 |
测量可控制环境条件 | 透明模式的地貌测量 |
DHM独特的光学配置允许用户测量**光学质量指标： 通过玻璃和浸没液体 内部环境和真空室，控制温度，湿度，压强，气体成分。 | 可选DHM反射式测量法分析软件允许以下测量： 透明结构的地形 厚度和折射率，多层结构的厚度值 从10nm到几十微米 柔软材料和液体的地形 |
反射式DHM主要参数：
系统 | |||
DHM型号 | R1000 | R2100 | R2200 |
光源数量 | 1 | 2 | 3 |
操作波长（±0.1nm） | 666nm | 794nm | 666 nm， 794 nm， 680 nm |
激光波长稳定性 | 0.01 nm / °C at 666 | ||
样品台 | 手动或自动XYZ平台，行程300 mm x 300 mm x 38 mm | ||
物镜 | 放大倍数1.25x到100 x，标准，高数值孔径，长工作距离，水/油浸物镜 | ||
物镜转轮 | 六孔转盘 | ||
计算机 | DELL工作站，**多核Intel处理器，高性能图像卡，配置*小21英寸显示屏及鼠标， | ||
软件 | 基于C++和.NET的Koala软件，额外可选软件模块可用于先进分析 | ||
数据兼容性 | 测量数据记录在二进制表格，可导出.txt格式，记录和重建图像可导出.tif格式或.txt数组 | ||
技术参数：
性能参数 | |||
测量模式 | 666nm单波长 | 合成短波长4.2um | 合成长波长24um |
DHM型号 | R1000，R2100，R2200 | R2100，R2200 | R2200 |
精度[nm] | 0.15 | 0.15 / 3.0 * | 20 |
垂直分辨率[nm] | 0.30 | 0.30 / 6.0 * | 40 |
重复性[nm] | 0.01 | 0.01 / 0.1 * | 0.5 |
垂直测量范围 | up to 200 μm | up to 200 μm | up to 200 μm |
锐利边缘**台阶高度 | up to 333 nm | up to 2.1 μm | up to 12 μm |
表面类型 | 光滑表面 | 复杂，非连续表面 | 复杂非连续表面 |
垂直校准 | 取决于干涉滤光片，±0.1 nm | ||
响应时间 | 标准500us，10us(可选) | ||
响应速度 | 标准30帧（1024*1024像素），可选达1000帧 | ||
重建速率 | 高达25帧1024*1024像素全息图（依赖于数据分析）（可选60帧） | ||
水平分辨率 | 取决于物镜，低至300nm | ||
视野 | 取决于物镜，从66um x66um到5um x5um范围 | ||
工作距离 | 取决于物镜，从0.3到18 mm | ||
数字对焦 | 取决于物镜，高达50 x景深 | ||
*小样品反射率 | 低于1% | ||
样品照明 | 低至1 μW/cm2 | ||
频闪装置 | 兼容单一，合成短波长 | ||
