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日本 真空设备 Shinkuu 磁控溅射装置 MSP-20TK

MSP-20TK

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深圳森泽工业品有限公司

日本

产品规格型号
参考报价:

1万元以下

型号:

MSP-20TK

关注度:

242

范围(量程或细度):

0-0.05

创新点:

大容积深腔样品室:Φ149×126mm 大深度腔体,可放置厚块立体样品、多批次试样,选配倾斜旋转台实现侧壁无死角均匀镀膜;
双旁路真空排气专利:分级抽气减少水汽、粉尘残留,钨膜纯度高,无杂相颗粒干扰电镜成像。

产品介绍

该设备用于在电子显微镜的样品表面涂覆金属薄膜,并对其进行导电处理。
作为靶材,主要是钨,它被用于电子显微镜的高倍率观察中。此外,还有许多其他可以用来涂覆的金属。

电极采用风冷磁控管方式,能够在较低电压下实现特殊金属涂层的形成。这是因为气体中的电子会进行磁控运动,从而大幅提升离子化效率。这一设计有助于大大减少对样品的损伤。

该产品必须使用氩气。

该产品包含设备主体、标准靶材(W)、旋转泵,以及由SUS材料制成的柔性真空软管。

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典型应用场景

20 万倍以上超高分辨 FE-SEM 样品钨膜导电镀膜、FIB 聚焦离子束超薄保护层制备、原子尺度微观形貌表征、锂电焦炭 / 石墨纳米粉体高分辨三维观测、第三代半导体晶圆微观缺陷检测、生物薄膜 / 高分子低损伤制样、地质矿物超细晶粒立体观测、微型金属电极、硬质抗氧化薄膜研发。


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