配备了适用于12英寸晶圆的大面积样品台。采用磁控管技术，在500伏及以下的涂覆电压下即可降低离子对样品的损伤。

具备自动涂覆功能，可从脱气、引入气氛气体到涂覆整个过程全部实现自动化。
配有便于样品插取的前置滑动式样品台。安装银靶后，还可轻松对透明薄膜等进行光泽处理。

我们有采用全面涂层工艺的MSP-12in，以及采用部分涂层工艺的MSP-12s可供选择。

该产品包含设备主体、标准靶材（铂金）、旋转泵以及SUS材质的柔性软管，为一体式套装。此设备需要相应的安装使用说明。