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电子制造工业中,对烟囱排放的氯化物、氟化物、苯系物等气体监测非常重要,OPSIS 拥有专为电子厂这种环境而设计的连续排放监测系统。为了提高在全世界许多应用场所的可靠性和运转性能,OPSIS可以满足电子芯片制造业多样化的需求。采用DOAS (差分吸收光谱法)的Opsis系统是一条开放式光径,无须接触被监测气体的监测系统,就不会受废气排放过程中的气体、高温和微粒的影响。一套系统可以实时在线地监测用户指定的一系列物质, OPSIS系统具有高准确性、高可靠性和很强的数据采集处理能力。OPSIS同样可以满足过程控制对响应速度的要求。
一套OPSIS 系统可以监测多种物质。通常监测的气体,诸如为了符合电子厂的某些特别需求,监测HCL、HF、CL2、苯、甲苯、二甲苯、……
应用原理:差分吸收光谱法(DOAS)
系统结构:
监测项目:序号 | 监测项目 | 分析方法 | 供应厂商 |
1 | HCL | DOAS | 瑞典 OPSIS |
2 | HF | DOAS | 瑞典 OPSIS |
3 | CL2 | DOAS | 瑞典 OPSIS |
4 | 苯 | DOAS | 瑞典 OPSIS |
5 | 甲苯 | DOAS | 瑞典 OPSIS |
6 | 二甲苯 | DOAS | 瑞典 OPSIS |
7 | …… |
技术特点:
主要设备:
DOAS 分析仪 | DOAS 接收/发射端 |
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环境空气苯系物在线监测系统,可参见“苯系物气体在线监测系统”
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