泵-普发真空HiPace®10涡轮分子泵-普发真空技术（上海）有限公司-产品详情

普发真空HiPace®10涡轮分子泵

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产品介绍

稳健性工业设计（Robust Design）和经过实践证明的高可靠性轴承系统。
紧凑型结构以满足更小的物理空间安装需求。
高气流量和高抽速。
可任意角度安装。
防护等级IP54符合工业环境应用要求。
可应用于腐蚀性气体工况。
SEMI S2 和 UL认证。
完整的配件系统扩展了潜在客户的需求。
更长时间维护保养时间。
可现场更换轴承。

Bearing 轴承	Ball bearing 球轴承
Compression ratio for Ar 氩气压缩比	2.5 · 107
Compression ratio for H2 氢气压缩比	3 · 102
Compression ratio for He 氦气压缩比	3 · 103
Compression ratio for N2 氮其压缩比	3 · 106
Cooling method， standard 冷却方式，标准	Convection 对流
Electronic drive unit 控制器	with TC 110
Flange (in) 法兰（进气）	DN 25
Flange (out) 法兰（出气）	DN 16 ISO-KF / G 1/8"
Fore-vacuum max. for N2 氮气**前级真空	25 hPa \| 18.75 Torr \| 25 mbar
Gas throughput at full rotational speed for Ar 氩气全转速时的气流量	0.37 hPa l/s \| 0.28 Torr l/s \| 0.37 mbar l/s
Gas throughput at full rotational speed for H2 氢气全转速时的气流量	2.78 hPa l/s \| 2.08 Torr l/s \| 2.78 mbar l/s
Gas throughput at full rotational speed for He 氦气全转速时的气流量	0.48 hPa l/s \| 0.36 Torr l/s \| 0.48 mbar l/s
Gas throughput at full rotational speed for N2 氮气全转速时的气流量	0.37 hPa l/s \| 0.28 Torr l/s \| 0.37 mbar l/s
Interfaces 接口	RS-485， Remote
Mounting orientation 安装方向	in any orientation 任意方向
Operating voltage 运行电压	24 (± 5 %) V DC
Particulate matter 颗粒物	yes
Permissible magnetic field max. 容许的**磁场	3 mT
Protection category 防腐等级	IP 54
Pumping speed for Ar 氩气抽速	11.5 l/s
Pumping speed for H2 氢气抽速	3.7 l/s
Pumping speed for He 氦气抽速	6 l/s
Pumping speed for N2 氮气抽速	10 l/s
Rotation speed ± 2 % 旋转速度 ± 2 %	90000 min-1
Rotation speed variable 可变旋转速度	50-100 %
Run-up time 启动时间	0.9 min
Sound pressure level 声压级	< 50 dB (A)
Ultimate pressure according to PNEUROP 根据PNEUROP的极限压力	< 5 · 10-5 hPa \|< 3.75 · 10-5 Torr \|< 5 · 10-5 mbar
Weight 重量	1.8 kg \| 3.97 lb

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