用于去除气体中粉尘的“Trapack”装置有多种类型，包括元素型、漩涡型和组合型。
此外，还有专门用于存放“Trapack”装置的“Trapack柜子”，客户可以根据自身需求选择合适的型号。

TRAPPACK（成型元件类型）

适用于真空规格及排气规格的气体与粉尘去除装置的基础型号。

特点

高性能：能够去除微小的反应产物（微粉体）

低损耗：元件的密度较低，网格间隙较大

可大量捕获颗粒物：这些颗粒物会逐渐在元件表面及内部堆积起来

主要用途：植入物、蚀刻处理

TRAPPACK（漩涡型）

在Trapack的基础上进一步改进，为各组件配备了涡流型装置的气体粉末去除装置。

特点

无压力损失：由于采用了涡流结构，因此粉末不会长时间受到压力损失的影响

高性能：通过调整涡流的数量和间距，可以几乎完全阻止粉末进入

超大量捕集：粉末会逐渐堆积在涡流元件的表面上

主要应用领域：化学气相沉积、蚀刻工艺

TRAPPACK（成型元件类型）

在Trapack的基础上进一步改进，为各个组件配备了组合型类型（涡流型+组件型），从而形成一种用于去除气体中粉尘的装置。

特点

高性能：能够去除细微的反应产物（微粉体）

低损耗：元件密度较低，网格间隙较大

高效捕集：粉体会在涡流区域及元件区域内逐层堆积起来

主要用途：CVD、蚀刻