德国Diener等离子清洗机Zepto，Atto，Femto，Pico，Nano，PlasmaBeam

德国Diener是专门生产经济、可靠的等离子清洗和等离子刻蚀设备的公司， 是世界上材料处理低温等离子体设备的市场和技术**者。Diener采用先进的集成化技术开发生产射频频率为40KHz 、80KHz、13.56MHz，以及代表等离子应用***技术的2.45GHz的等离子清洗机。

目前设备广泛应用于：等离子清洗、刻蚀、灰化、涂镀和表面处理。产品主要分布在真空电子、LED、太阳能光伏、集成电路、生命科学、半导体科研、半导体封装、芯片制造、MEMS器件等领域。其设备生产零件均选用其零件行业的**质产品，以保证性能技术稳定。

德国diener等离子表面处理设备特点：

等离子清洗机清洗效果好，效率高，应用范围广。

对清洗样品，没有任何材质、外观尺寸等要求

等离子清洗过程中，温升很小，基本可达到常温处理。

射频功率无极连续可调。

高效的特制电极，是产生均匀等离子体的保证。

特制电极和托盘结构，可充分利用真空舱体内部空间，使处理效率**化，同时也可保证样品可得到全面有效的清洗。

特有的过载、短路和过热保护电路，可保证射频电源的稳定和安全。

设备整体模块化设计，安装与维护极为简单。

德国diener等离子表面处理设备多种系列：

Diener等离子表面处理设备 PICO PCCE 全自动

主要技术参数：

• *全自动PCCE控制系统，可存储50套程序。

• *根据工艺要求不同，可设定真空泵启动与停止、发生器的功率、反应腔体压强、气体流量与时间等参数

• 双路工作气体，MFC质量流量计

• *反应舱为方形铝制腔体w: 150 mm， h: 160 mm， d: 325 mm带有铰链门，门带有观察窗。

• *发生器100 kHz， 0 – 500 W连续可调，反射波自动调节。

• 电极材质为铝制。

• 真空泵抽气能力8m3/h

• *配有压力传感器，实时显示压力值

• 电源电压：单相AC230V 16A

配置清单：

操作面板