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LUXOR磁控离子溅射仪

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普罗美特有限公司

德国

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905

产品介绍

LUXOR喷金仪是一款触摸屏控制的全自动的磁控离子溅射装置,专用于电镜某些非导电样品的喷金处理,以提高电镜观察的成像效果!

主要技术指标和特点如下:

------ 三种模式: 金属溅射,样品干燥,真空脱气

------ 厚度可选范围:1nm --- 50nm

------ 气源要求: 氩气 0.6bar

------ 真空度可设定: 5Pa--300Pa

------ 工作时间设定: 1---- 240min

------ 可实现多达12个样品的同时喷涂,样品仓高度可调!

------ 专门设计的样品站,可直接实现Thermo Phenom电镜样品夹的喷涂

------ 双重安全护罩保护,硼硅玻璃样品仓外无高压部件

------ 方便的样品固定和靶材更换

------ 占地小30cm*30cm,重量 :10.8 Kg,长宽高:340mm*305mm*290mm

------ 电源:230V&50Hz, 不含泵功耗120W,含泵功耗500W

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LUXOR磁控离子溅射仪

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