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CS300质量流量控制器&流量计
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CS300质量流量控制器&流量计
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优势
• 准确度采用设定点精度，产品精度可达±1.0% S.P.，响应时间*快≤ 0.5sec。
• CS300系列产品可带有压力补偿功能，对前段气体压力的扰动进行有效的补偿，减少压力变化对瞬时流量影响，从而保证产品工作的稳定性和准确性。
• 采用的恒功率传感器原理，在温度变化时进行相应的补偿，从根本上抑制了流量计的零漂现象，保证了传感器线性。
• 高端产品采用专门的金属表面处理技术，与气体接触的表面金属材料全部使用316LVV，CS300C产品金属表面粗糙度更可达5RA以下，严格按照SEMI标准生产制造。
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