粉体行业在线展览
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DMC‑03型
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深圳森泽工业品有限公司
日本
1万元以下
日本JUSTEM
DMC‑03型
190
0-0.05
一机同时完成晶圆外径直径、Notch 缺口、Flat 平边角度位置检测，一机多项检测
概要：该设备利用绿色LED光来检测晶圆端面，再通过与校准用晶圆（基准晶圆）进行比较，从而测定晶圆的直径。
工作尺寸：φ3、4、5、6英寸
工程：包装工序
晶圆厚度：150 ~ 725微米
业界：电子部件
素材：SiC
特征1
手动操作测量台，以10°为间隔，对包括A直径（3个点）以及B直径（节流孔部位）在内的18至36个点进行测量。
特征2
由此可以减少以往使用卡尺等工具进行测量时，操作人员带来的测量误差。
特征3
还可以计算平均直径值、MAX直径值、MIN直径值、相对标准偏差等，并以Excel格式保存。
| 目标作品 | SiC |
|---|---|
| 工作尺寸 | φ3、4、5、6英寸 |
| 工件厚度 | 150 ~ 725微米 |
| 设备形式 | 卓上式 |
| 设置环境 | 1000级 |
| 装置尺寸 | 宽257毫米 × 深540毫米 × 高545毫米 |
| 装置重量 | 60公斤 |
| 电源电压 | 单相 100V 50/60Hz共用 |
| 圧空 | 0.5MPa以上 |
| 测量传感器 | 光学式传感器 |
| 测量精度 | 重复5次 测量值偏差在±6μm以内 |
C-MiX
BL300Ft / BL600Ft / BL1200Ft / BL3000Ft
MG-2 系列/MG-6 系列
BLh300Ft/BLh600Ft/BLh1200Ft/BLh3000Ft
M-600H
斯特拉100
BL600Z+
VG-600N 型
VBL-F / VBL-FU / VBL-FS
BL300Mx-10
U-DX 型
DISPER 2.5
