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408
MSE-4200S 电子封装类专用氦质谱检漏仪
岛津氦质谱检漏仪搭载了新型的CPU，采用专用的分流泵及中间排气系统，实现了**的低BG恢复性能和操作性。
产品信息
检出灵敏度：10-13-100Pa m3/s (He)
保证生产节拍 6sec/c，BG：2.5X 10-10Pa m3/s (干燥氮排气时)
**的BG恢复性能和操作性
大屏幕液晶触摸屏面板，操作简单
分析管采用长寿命的镀氧化钍铱灯丝（内置两根）
