ATI-1000S型高温半导体材料体积电阻率测定仪/半导体电阻率测量仪主要用于半导体材料导电性能的评估和测试，该系统采用四线电阻法测量原理进行设计开发，可以在高温、真空气氛的条件下测量半导体材料电阻和电阻率，可以分析被测样品电阻和电阻率随温度、时间变化的曲线。半导体材料体积电阻率测定仪/半导体电阻率测量仪目前主要针对圆片、方块、长条等测试样品进行测试，可以广泛用于半导体材料硅（si）、锗（ge），化合物半导体材料砷化镓(GaAs)、锑化铟（InSb），三元化合物半导体GaAsAl、GaAsP，固溶体半导体，如Ge-Si、GaAs-GaP等的块体材料的电阻率测量等材料的电阻率测量。

技术参数：

温度范围：RT-1000℃

升温斜率：0-10℃/min (典型值：3℃/min)

控温精度：±0.5℃

电阻测量范围：0.1mΩ~1MΩ

电阻率测量范围：100nΩ..cm~100KΩ .cm

测量环境：惰性气氛、还原气氛、真空气氛

测量方法：四线电阻法

测试通道：单通道

样品尺寸：10mmx10mmX20mm或φ＜20mm ，d＜5mm

电极材料：上电极半圆型铂金电极，下电极平板型铂金电极

绝缘材料：99氧化铝陶瓷

数据存储格式：TXT文本格式

数据传输：USB

符合标准：ASTM

供电：220V±10%，50Hz

工作温度：5℃ 至 + 40 ℃；

存储温度：–40 ℃ 至 +65 ℃

工作湿度：+40 ℃ 时，相对湿度**达 95%（无冷凝）

设备尺寸：400x450x580mm

重量：38kg

产品特点：

■ 高温炉膛、测量夹具、测量软件等集成于一体，让操作变得更加简单，测量精度则会更高；

■ 触摸屏控制和显示，同时支持外接键盘和鼠标操作，满足多样化需求；

■ ATI电阻率测量软件兼容世界主流仪表Keithley 2400，扩展应用更加方便；

■ 可以实现常温、高温、真空、气氛条件下测量半导体材料的电学性能；

■ 专业的测量软件，可以测量半导体材料的方块电阻和电阻率；

■ 进口纤维一体开模铸造的高温炉膛，**耐温1100℃；

■ 内胆采用进口金属材料，耐高温、抗氧化，可实现常温、高温、真空、流动气氛等多种试验环境下的电学测量；

■ 为了减小高温下导线受电炉丝的交流信号干扰而建立了金属屏蔽罩，有效减小外部信号的干扰和增加测试频率带宽；

■ 采用九点控温法，以传感器为中心点，其半径20mm的圆环上均匀铺设八个温度采集点，九个温度点范围内采集到的温度**温差为1℃，此范围为样品测试的**温区；

■ 弹簧夹具设计，弹簧的可压缩性既不损伤样品又能实现样品的良好接触；

■ 上电极半球状+下电极平板状结构设计，可以精确定位测量被测样品某一点；

■ 控温和测温采用同一个传感器，保证样品每次采集的温度都是样品实际温度；

■ 采用九点控温法，九个温度点范围内采集到的温度**温差为1℃，此范围为样品测试的**温区；

■ 电极支撑和屏蔽采用进口合金材质，利用叶片设计可以很好解决因平台带来的热弛豫影响；

■ 可以测量半导体材料的方块电阻、电阻率，实现常温、变温、恒温条件的I-V、R-T、R-t等测量功能；

■ 操作简单，功能强大的测量软件，可以通过输入样品的面积和厚度，软件自动计算样品的电阻率ρv；

■ 智能化控制，可自动调节施加在样品的测试电压，以防样品击穿；

■ 采用**的RAM嵌入式开发平台，可以进行在线升级、远程协助及故障诊断；

■ 测量软件终身免费设计；