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仪器简介：RecentlyRefurbishedNewSoftware，ControlHardware，DryProcessPump，DryLoadlockPumpandHeaterAssembly.
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575 | 美国 | 给我留言 |
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美国SVT生产型MBESVT拥有20年MBE设备制造与革新的经验。MBE是半导体材料和器件生长的主要研究制造技术。SVT的MBE设备提供超高真空环境，可以精确制备各种薄膜结构，包括超高k电解质，光电子
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495 | 美国 | 给我留言 |
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美国SVT小型MBESVT公司生产的SMARTNanoFabMBE具有体积小容量大的优点。可以多种生长模式集成于一个腔室。桌面大小的超高真空腔室包含了一系列沉积源以及工艺监控仪器的端口。装载室可以盛放
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517 | 美国 | 给我留言 |
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美国SVTLaserMBELaserMBE具备PLD和传统MBE的特性，可对薄膜的生长速率进行精确（原子层级别）控制。通过在MBE系统上增加激光烧蚀工艺，系统可以生长包括高熔点陶瓷以及多元素固体材料等
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512 | 美国 | 给我留言 |
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美国SVT公司超高真空解理机SVT公司的样品解理部件可以将15mm（其他尺寸可选）的方形样品解理成15个1mm×15mm的Bar条。所有解理出的bar条被收集到样品托，堆叠在一起进行下一步批
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598 | 美国 | 给我留言 |
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美国SVT公司CIGS铜铟镓硒系统35-V-100是薄膜沉积精密设备，是适用于4英寸衬底的CIGS研发型设备SVTA-CIGS-30是生产型系统还可提供各种大容量生产型的S/Se源，包括点源（200C
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544 | 美国 | 给我留言 |
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AccuTemp(In-Situ4000)工艺监控仪可以闭环监控与控制多层薄膜生长。用于MBE、MOCVD以及CIGS等系统中。AccuTemp提供实时、准确的工艺信息，包括衬底温度、薄膜厚度、生长速
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325 | 美国 | 给我留言 |
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SVT公司DF系列用于生长Ga和In等材料。源内两个独立灯丝便于客户更自如地控制蒸发源。此源的接口是4.5’’或更大。SVT蒸发源在运往客户前都经过全面的检测和表征。特点●两个独立灯丝，全面温度控制●
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336 | 美国 | 给我留言 |
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SVTHL系列在坩埚端口有更高的温度。在坩埚口提高温度，以避免材料在蒸发过程中由于坩埚口温度低而凝固。配有单电源、温度控制器和电缆。SVTCL系列用于生长铝材料。采用冷口设计阻止铝向坩埚口外蔓延而毁坏
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530 | 美国 | 给我留言 |
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SVTA-VC-45裂解源包括As、P、Sb、Te、Se、S等。As裂解源用于生长高质量的III-V材料薄膜，拥有最高的裂解效率和最好的束流均一性。其独特地设计在于两个独立的可控加热区：体蒸发区和产生
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524 | 美国 | 给我留言 |
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原子氢源采用电子束加热原理，产生的温度可高达2，500oC。氢气进入原子氢源，然后被裂解成原子H。由于其不会产生离子形态的氢，所以消除了损伤衬底表面的可能性，因此是用于衬底表面清洁的最佳工具。紧凑SV
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461 | 美国 | 给我留言 |
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SVT公司的气体入射源是为气体源分子束外延（GSMBE）设计的。SVTA-APH3-GCS入射源用于裂解砷化氢和磷化氢以进行高质量的III-V材料生长。源采用单灯丝加热，双气体管炉提高气体裂解的效率。
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409 | 美国 | 给我留言 |
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CBr4是很好的III-V材料的p型掺杂源。在使用MBE技术生长p型掺杂外延材料中具有很多用途。SVT公司CBr4模块适用于任何MBE，具有安全、操作简单等特点。CBr4通过一个压力控制系统被输送到腔
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539 | 美国 | 给我留言 |
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SVT公司的线性束流监控仪采用B-A离子规，用于在超高真空下测量束流。灯丝可以放在源的前面，用以获取准确的数据来校准及监控工艺生长过程。仪器长度可以客户定制，保证离子规有足够的前后移动容域度，避免生长
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579 | 美国 | 给我留言 |
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集中传送室位于各真空室中心，可以实现样品在任意腔室之间传递。样品可以从装载室到各个腔室模块，例如薄膜生长室、金属化室、或样品分析室。SVT可以提高以下2种配置的集中传送室，也可以客户订制。SVTA-C
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390 | 美国 | 给我留言 |
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生长操作器和制备台UHV兼容。尺寸包括1’’到8’’。集成主挡板可选。操作器可以xyz三个方向运动。样品托集成在操作器上。可适用于氨气、氧气等腐蚀性环境。●磁耦合旋转●旋转精度高●氧环境下兼容可选●氨
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437 | 美国 | 给我留言 |
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SVTExcel系列蒸发源在高真空或超高真空系统中，适用于生长有机化合物材料或蒸汽压非常高的材料。所有的源最高温度是600oC，采用热口设计，K型热偶。对于4.5’’或更大接口的源，水冷却罩和集成挡板
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513 | 美国 | 给我留言 |
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SVT热蒸发源种类繁多，覆盖了绝大多数材料。包括CsI，S，Se等各种材料SVT生产MBE设备已有超过20年的经验，其蒸发源具有很高的稳定性和可控性。源可以制造成各种形状、尺寸并具有最佳温度范围。SV
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571 | 美国 | 给我留言 |
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SVT线性蒸发源适用于太阳能电池和OLED生产的in-line和rolltoroll制程工艺。线源和体蒸发源相比，蒸发温度更高（>1，500oC）。线性分布的分流口可使整个衬底长度均匀被覆盖。独创的分
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569 | 美国 | 给我留言 |
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SVT阀控沉积源可精确控制高蒸汽压材料的束流。其独特地阀门设计，使该源具有很好的工艺重复性以及束流反应即时性。驱动阀门可选，可实现自动工艺控制。阀控沉积源与束流分流口相连，可以在很大面积的衬底上沉积。
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1023 | 美国 | 给我留言 |
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