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HM5-160全自动检测系统
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HM5-160全自动检测系统
1282
1、高速度、高精度测量系统。 2、**160mm*160mm范围自动测量。 3、重复测量精度≦0.5µm。 4、适用高反光、高透光材料。 5、数据重复测量的一致性。 6、测量膜厚、线宽、平面度等。
LHTG/LHTM/LHTW
Empyrean
Hydrolink
3H-2000A
ReactRaman 785
D70
UNI800B
Autopol I
电磁波波谱浓度仪
Tunable PowerArc
SN210C/310C/510C, SQ510C/810C
