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团簇式OLED真空蒸镀工艺装备

团簇式OLED真空蒸镀工艺装备

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鹏城半导体技术(深圳)有限公司

广东

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品牌:

鹏城半导体

型号:

团簇式OLED真空蒸镀工艺装备

关注度:

569

产品介绍

团簇式OLED真空蒸镀工艺装备是自主“OLED真空蒸镀工艺装备”,是“卡脖子”的35项关键技术的第六项。项目技术团队已完成G1(1代线) 和G2.5(2.5代线)的研发设计和生产制造。

项目技术团队已经解决了大部分关键技术问题(如:源炉技术、精准对位技术(对位精度达到1.5μm)、精密蒸镀电源技术、原位膜厚测量技术、高真空传递机械手、电控系统及自动化控制软件等)。

公司可对外承接OLED的G1和 G2.5工艺线的设计制造。


技术指标

 指标参数 
 对位精度 CCD精密对位≤1.5 υm,机械对位≤150 υm
 膜厚均匀性和重复 ±2%
 总体技术路线 采用Cluster方案
 工艺流程 设计-审核-外协-组装-电气安装-调试-出厂


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团簇式OLED真空蒸镀工艺装备

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鹏城半导体技术(深圳)有限公司

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