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专为超大纳米平板显示器测量而设计的自动化原子力显微镜(AFM)系统

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韩国帕克股份有限公司

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品牌:

Park

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专为超大纳米平板显示器测量而设计的自动化原子力显微镜(AFM)系统

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专为超大纳米平板显示器测量而设计的自动化原子力显微镜(AFM)系统

随着对大型平板显示器原子力显微镜计量需求的增加,Park NX-TSH 通过利用探针扫描器和龙门式气浮台的结合,克服了针对大型和重型样品进行纳米计量的巨大挑战。Park NX-TSH能获得高分辨率的表面粗糙度测量,台阶高度测量和关键尺寸测量。
为OLED面板行业整片测量,超高尺寸镜片测量,提供全自动的原子力显微镜计量解决方案。

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