ATTO10一体镀膜机

Atto10手套箱是经过验证的一种手套箱蒸镀一体机，坚固耐用的多功能设计标准方案。该系统可以手动和自动操作，具有广泛的沉积仪器选配，包括：电子束蒸发器，射频和直流溅射源，低温有机蒸发器和金属蒸发器。还有许多系统选项可用，如 石英晶体监测，高真空负载锁和加热，冷却，旋转或静态样品台。本系统由真空镀膜系统和Lab2000手套箱系统集成而成，手套箱是一种与大气隔绝的密闭环境的箱体，各种装配操作等工作能够通过手套在箱体里面进行，手套箱内部无水、无氧，只充满了高纯惰性气体，实现镀膜机和手套箱的无缝连接，解决镀膜产品被水氧分子污染的问题。