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无纺布抛光垫
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上海映智研磨材料有限公司
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无纺布抛光垫
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无纺布抛光垫 型号 密度g/cm3 压缩率% 压缩弹性率% 硬度邵氏A 性能特点 应用 NW-70 0.36 4-5 90 72A 耐磨不拉丝，寿命长 金属、不锈钢精抛 NW-75 0.37 4-5 80 76A 软性材质，贴合性好 蓝宝石衬底搭配氧化硅 NW-80 0.37 3-4 80 80A 搭配氧化硅，表面质量高 硅片、砷化镓衬底 NW-90 0.45 2-3 70 90A 搭配氧化铝，抛光速率高 蓝宝石、碳化硅衬底
无纺布抛光垫是一款毛毡状的抛光垫，能磨出一定程度的平坦性和平滑性，性能处于聚氨酯抛光垫
和阻尼布抛光垫的中间位置。
通常被使用于粗磨或中磨。
应用领域：
半导体晶圆，蓝宝石，光学镜片，金属等材料CMP。
定制服务：
硬度、尺寸、沟槽等可按需求定制。
