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RTP快速炉
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苏州哈腾科技有限公司
江苏
面议
苏州哈腾
496
升降温速度快,升温采用环形红外短波加热器,*快升温速率可达200°C/s,降温时通过将炉膛退出,实现对产品的快速降温;
测温采用精准的S型金属热电偶直接测量产品表面,使加热工件的温度更加准确
控制数学控制数学模型采用先进的PID自学习模糊双闭环控制模式,使控温精度在快速升温的恒温状态仍能保持在+3°C;
功能多样化,既可以用于材料的快速升降温退火,也可用于化学气相沉积(CVD)法,在或铜箔上制备石墨烯的制备.
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