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LDI激光直写光刻机
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科毅科技股份有限公司
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科毅科技
LDI激光直写光刻机
1326
项目 | 参数 |
支持基板尺寸 | 12inch（兼容8inch） |
分辨率 | L/S 2/2μm；Hole 4μm |
套刻精度 | 正面±0.6μm、背面优于2μm |
光源类型 | LD |
产能 | 40WPH |
A500
BL-GHX-VK
PicoFemto扫描电镜原位高温拉伸台
InSight 软包电池透射X射线衍射仪
SuperSEM N10
SLS-LED-80B
Lyza 3000
在线浊度计
SCI300
ZEUS
LS-100 PRO
