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产品简介
EddyCus® TF lab系列产品是一款适合实验室研发或成品检测使用的面阻及膜厚实时测量仪器。其应用领域广泛，不仅适用于玻璃、硅、塑料基板上的导电性薄膜的面电阻和厚度的测量，同时也适用于多种单层膜材料厚度的实时测量。根据传感器之间距离的不同，EddyCus TF lab可满足不同的测试需求，传感器标准距离为10mm，zui大距离可至60mm。
应用领域：
·薄膜面电阻的测量
·薄膜厚度的测量
·导电性基板厚度的测量
·与电阻相关的其他参数的测量
技术特点：
·非接触式实时测量
·可实现对几乎所有平面样品的测量
·测量传感器与样品之间的距离及测量 点的大小可调
·扫频范围可达256个频率点
·薄膜厚度测量可至纳米量级
·操作简单，软件功能丰富
| 技术指标 | EddyCus® TF lab-1 | EddyCus® TF lab-2 | |
| 传感器之间距离 | 10mm | up to 60 mm possible | |
厚度测量 范围 | 高导电率材料 (大于 10 MS/m) | 5 nm – 50 µm | 5 nm – 100 µm |
| 低导电率材料 (小于 10 MS/m) | 10 nm – 1 mm | 10 nm – 250 µm | |
| 面阻测量范围 | 0，01 – 1000 Ω/sq | ||
| 导电率范围 | 1– 67 MS/m | ||
薄膜厚度测量精度 | ± 10% from <20 nm ± 5% from 20-200 nm ± 2，5% from 200nm– 1 µm ± 1% from > 1 µm | ||
面电阻测量精度 (e.g. TCO) | ± 2，5% from 0，01 – 20 Ω/sq ± 5% from 20 – 100 Ω/sq ± 10% from 100 – 1000 Ω/sq | ||
| 传感器 | 可根据不同应用要求配置传感器 | ||
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