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博曼(Bowman)XRF镀层测厚仪W系列

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安柏来科学仪器(上海)有限公司

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626

产品介绍

博曼W系列产品概述:

W系列采用多毛细管光学机构,可将X射线聚焦到7.5μmFWHM,是目前世界上使用XRF技术进行镀层厚度分析的*小光斑尺寸。150倍放大相机用于观察样品上的细微特征;同时配有低倍数相机,用于观察样品的宏观成像。博曼的双摄像头系统可让操作人员看到整个样品,点击图像,通过高倍放大相机进行放大,实现测量点的精确定位和测量。

可编程的XY平台,精度优于+/-1μm,可精确定位多个测量点;博曼专有的样品模式识别软件搭配自动对焦功能可帮助客户自动快速完成细微样品特征的测试。独特的3D Mapping 扫描功能可绘制出硅晶圆等部件表面的镀层形貌。

W系列的标准配置包括7.5um钼靶光学结构(可选铬和钨)和高分辨率、大窗口硅漂移探测器,该探测器每秒可处理超过2百万次计数。

W系列是博曼分析仪器推出的第7款产品。与其他产品一样,它*多同时可测量5层镀层。采用先进的Xralizer软件,通过检测X射线荧光能量准确定量分析镀层厚度。Xralizer软件将直观的可视化操作、便捷的功能键、全面的检索功能、“一键式”报告生成等**结合。同时该软件极大简化了用户创建新应用的过程,带给用户****的优质体验。

博曼W系列可满足以下类型用户的需求:

- 需要检测晶圆,引线框架,PCBs

- 需要快速测量多个样品的多个点

- 希望实现不同样品的自动化检测

- 符合IPC-4552A

博曼W系列产品参数:

类别

参数

元素测量范围:

X射线管:

探测器:

视频放大倍率:

分析层数及元素数:

滤波器:

焦距:

数字脉冲器:

计算机:

相机:

电源:

重量:

可编程XY平台:

样品仓尺寸:

外形尺寸:

其他新特征:

13号铝元素到92号铀元素

50 W钼钯射线管(可选铬和钨)7.5um毛细管光学结构

135eV分辨率的大窗口硅漂移探测器

20"屏幕上的150倍微观摄像头(*多600倍数码变焦)

10-20倍宏观摄像头

5层,每层可分析10种元素,成分分析*多可分析25种元素

4位置一次滤波器

可变焦

4096 多通道数字处理器,自动死时间和逃逸峰校正

英特尔, 酷睿 i5 3470 处理器 (3.2GHz), 8GB DDR3 内存, 微软 Windows 10 专业版, 64位

1 / 4"CMOS-1280×720 VGA分辨率

150W,100-240V,频率范围为47Hz至63Hz

190kg

XYZ行程: 300mm (11.8″) x 400mm (15.7″) x 100mm (3.9″)

XY桌面: 305mm (12″) x 406mm (16″)

X轴准确度: 2.5um (100u″) X轴精确度: 1um (40u″)

Y轴准确度: 3um (120u″) Y轴精确度: 1um (40u″)

Z轴准确度: 1.25um (50u″) Z轴精确度: 1um (40u″)

高度:735mm(29"),宽度:914mm(36"),深度:100mm(4")

高度:940mm(37"),宽度:990mm(39"),深度:787mm(31")

Z 轴防撞阵列

自动聚焦和自动镭射

模式识别

先进的自定义数据调用

关于美国博曼:

美国博曼(Bowman)是高精度台式镀层测厚仪供应商,拥有近40年的行业经验。博曼XRF系统搭载拥有自主知识产权的镀层检测技术和先进的软件系统,可精准高效地分析金属镀件中元素厚度和成分。博曼XRF系统可同时测量包含基材在内的五层元素,其中任何两层元素可以是合金。同时,博曼XRF系统也可以测量高熵合金(HEAs)。

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安柏来科学仪器(上海)有限公司

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