测量/计量仪器-YD24系列下游压力控制器-辽宁冠华半导体有限公司-产品详情

YD24系列下游压力控制器

直接联系

辽宁冠华半导体有限公司

辽宁

产品规格型号

参考报价：

面议

品牌：

辽宁冠华

型号：

YD24系列下游压力控制器

关注度：

产品介绍

YD24 系列(压力控制器/流量计)是一款应用于半导体等高端工艺制程的压力测控产品，

基于压力式传感器技术，控压精度可达到±0.05%F.S.，

产品制造各项技术指标均严格按照SEMI标准执行，

可在任何工艺点对任何气体(包括选定的腐蚀性气体)进行远程传感压力控制，

被广泛应用于半导体制造领域的沉积、刻蚀、热处理、离子注入等设备中。

下游控压，适用 1000torr 以下压力控制范围，精度可达±0.05%F.S.

快速响应<100ms，金属密封，电抛光表面光洁度适用于高纯度工艺应用

可定制多种通讯模式、机械接头

适用于半导体等多种高端工艺制程

产品咨询

YD24系列下游压力控制器

请填写您的姓名：*

请填写您的电话：*

请填写您的邮箱：*

请填写您的单位/公司名称：*

请提出您的问题：*

您需要的服务：

询盘报价、价格查询

发送产品资料

与您电话联系

发送

中国粉体网保护您的隐私权：请参阅我们的保密政策来了解您数据的处理以及您这方面享有的权利。您继续访问我们的网站，表明您接受我们的使用条款