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HMPS-2060SP微波等离子体(CVD)系统
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成都纽曼和瑞微波技术有限公司
四川
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和瑞微波
HMPS-2060SP微波等离子体(CVD)系统
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◆高品质单晶金刚石、多晶金刚石的批量生长。
◆多种薄膜的CVD制备、材料表面处理和改性、低温氧化物的生长等。
◆第三代高稳定固态功率源；上馈式圆柱型放电腔；
◆适合光学、电子、工具级金刚石膜或单晶、石墨烯等的产业化生产，材质表面处理、低温氧化物的生长等。
◆性能先进，安全、可靠性强、重现性好，操作简便。
◆多参数实时监测、采集与记录，PLC屏幕控制，多重联锁保护。
| （1） | 型号 | HMPS-2060SP |
| （2） | 电源 | AC380±10% V 三相五线制 50Hz，额定输入＜18KVA |
| （3） | 微波输出功率 | 0.5~6kW 连续可调 |
| （4） | 功率稳定度 | 1%（@稳态） |
| （5） | 纹波 | ≤1% |
| （6） | 微波频率 | 2450MHz±50MHz |
| （7） | 测温方式 | 红外300~1400℃ |
| （8） | 极限真空度 | 6×10-6torr |
| （9） | 腔体内工作压力 | 7torr~250torr |
| （10） | 样品台 | Φ60mm |
| （11） | 样品台轴向调节范围 | 0-60mm |
| （12） | 工作气氛 | 五路（可用户定制） |
| （13） | 微波泄漏值 | ＜5mW/cm2 |
| （14） | 工作环境 | 温度15-40℃，相对湿度≤60%，无腐蚀性气体 |
| （15） | 冷却水 | ＞37L/Min |
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