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石英坩埚

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锦州佑鑫石英科技有限公司

辽宁

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面议

品牌:

锦州佑鑫

型号:

石英坩埚

关注度:

1034

产品介绍

采用高温电弧法制造,纯度在99.99% 以上 ,具有良好的耐高温性能( 1450 ℃)。用于CZ法单晶硅生长及其它用途 。

产品参数

产品级别应用使用寿命拉制次数表层微气泡量

YX30C

PV

>150h

1-4<0.3.%

YX30B

PV

>250h

4-6<0.30%

YX30A

PV

>350h

6-7<0.30%

YX30S

PV

>450h

8-10<0.30%

YX80A/S

SemiN/A------<0.20%

YX80X

SemiN/A------<0.20%

产品规格



规格
外径OD(mm)
高度H(mm)
厚度 T(mm)
标准半径R(mm)
标准半径r(mm)
间隙Gap(mm)
W1
W2
W3
14”
355.6 ± 2.0
可根据客户标准定制

8.5 ± 2.0
10.5 ± 2.0
8.5 ± 2.0
381
89
≤5
16”
406.5 ± 2.5
9.0 ± 2.0
11.0 ± 2.0
9.0 ± 2.0
406
76
18”
457.0 ± 2.5
9.5 ± 2.0
11.5 ± 2.0
9.5 ± 2.0
500
120
20”
505.0 ± 3.0
10.0 ± 2.0
11.0 ± 2.0
10.0 ± 2.0
508
90
22”
555.0 ± 3.0
11.0 ± 2.0
12.0 ± 2.0
11.0 ± 2.0
558
130
24”
607.0 ± 3.0
12.0 ± 2.0
13.0 ± 2.0
12.0 ± 2.0
609
120
26”
655.0 ± 3.0
12.0 ± 2.5
14.5 ± 2.5
12.0 ± 2.5
669
120
28”
710.0 ± 3.0
12.0 ± 2.5
16.0 ± 2.5
12.0 ± 2.5
710
120
32”
810.0 ± 3.0
14.0 ± 2.5
23.0 ± 2.5
14.0 ± 2.5
810
160
36”
912.0 ± 3.0
18.0 ± 2.5
26.0 ± 2.5
18.0 ± 2.5
910
180
40”
1016.0 ± 3.0
20.0 ± 3.0
30.0 ± 3.0
20.0 ± 3.0
1016
186


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石英坩埚

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