l 可以集成任何自动化或处理系统且适用于极端环境(研磨、锯切)
l 紧凑、标准的工业接口
l 独立定位测量，可测量平面或圆周
l 光学等级检测
l 解决了行业难题:
① 如果加工设备和定向测量是分开的，那么就会因为样品转移而造成定向误差
② 市场对于精确对齐的晶圆的需求量越来越大
l 将测量过程整合到工业生产中（研磨或锯切）
技术参数▼
l 可测量材料：硅，碳化硅，砷化镓及更多
l 样品尺寸：钢锭直径450毫米
l 冷却：空气，低噪音
l 可能的用途：在锯/磨/平/缺口检测前对大型晶锭进行预对准
硅锭取向:
磨削前对平面和缺口位置的检测
样品直径可达8 "，长度可达40厘米
无需移动样本即可进行定向，可与打磨产线相结合直接进行在线检测
可以直接集成到基础机圆磨床72/856上
