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匀胶机、旋涂仪(德国产、高性能)
产品型号:
供应商报价:面议
产地:德国
发布时间:2023-08-11
所属分类:首页 > 分析仪器设备频道 > 半导体行业专用仪器专场 > 匀胶机、旋涂仪(德国产、高性能)
  • 产品简介
  • 应用行业
  • 典型用户

仪器简介:

德国品质(配有防污染内衬,标配两个大小吸盘,性能优于美国同类品牌)

SPIN150i单片匀胶机/旋涂仪具有广泛应用,包括 甩干,冲洗,清洁,涂胶。台式设计,无缝全塑料材质, 有天然聚丙烯(NPP)和聚四氟乙烯材质(PTFE)可选。有各种吸盘,适合样品衬底5mm--?160mm (or 6”) or 4"x4". 更大尺寸均有!!

技术参数:

**样品尺寸: 160mm

**腔体直径: 202mm

伺服控制马达

程序数字处理控制器:

存储50个程序,每个程序可设计99步菜单指令

转速 1-12000 rpm

2 free programmable outputs (dry contacts)

仪器尺寸: 275 (w) x 240 (d) x 450 (h) mm

各种样品尺寸的台式匀胶机(**至1000mm!)

天然聚丙烯材质(Natural Polypropylene Models)

化学胶

注射

应用 VS. 型号甩干冲洗清洁刻蚀手动涂胶自动涂胶显影样品衬底尺寸
手动注射SPIN150i **至 ?160mm

(or 6") OR 4”x4”

SPIN150i-IND
SPIN200-NPP **至 ?260mm

(or 8") OR 6”x6”

SPIN200-IND
自动注射ACD200-NPP
ACD200-NPP-IND
手动注射MCD300-NPP**至 ?360mm

(or 12") OR 8"x8"

MCD300-NPP-IND
自动注射ACD300-NPP
ACD300-NPP-IND

主要特点:

  • **转速12000rpm而无振动

  • 结构紧凑,台式机

  • 此匀胶机可以集成到其它系统中

  • 无缝天然聚丙烯(NPP)材质适合多数化学胶体,清洁方便

  • 对强腐蚀的化学试剂可选用聚四氟乙烯材质的匀胶机

  • 大的操作面板使程序输入简便,即使戴上手套也可以操作

  • 数字式处理控制器,可以精准,高重复性控制

  • 大量程序可编辑,使复杂的涂胶工艺变的灵活

  • Programmable Relays, allowing process controlled interfacing with external hardware

  • 德国品质(配有防污染内衬,标配两个大小吸盘,性能优于美国同类品牌)

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