产品图片：
产品型号:
RSA-06
产品介绍：
Ceramic， Metal Free的热场设计
可以实现± 10℃以下（1500℃） 的面内温度分布。
急加热急冷却的设计， 即使单片对应整体速度也很快
反应炉和冷却室是分开存在， 加热部可以保持均一高温。 （**申请）
加热部一直是高温保持，综合运转成本会降低
本装置为高真空对应（可以使用干泵+涡轮分子泵）
**可以对应2000℃。
我们将通过充分利用仿真软件来建议**的热场
基本规格（SPEC）
