微波等离子体辅助原子层沉积系统

Description:

●微波频率:2.45±0.025 GHz

●微波功率:≥3 KW连续可调

●可实现 <+/-3% 的均匀沉积

●气体:SiH₄,NH₃, N₂O, Ar, N₂, CF_4，O₂...

●极限压力:≤1X10^-3 Torr

●尺寸:8英寸晶圆

●用途:SiO_2，Si_xN_x...etc.,