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微型热沉积系统
产品型号:定制-微型热沉积系统
供应商报价:面议
产地:中国
发布时间:2025-02-18
所属分类:首页 > 分析仪器设备频道 > 半导体行业专用仪器专场 > 微型热沉积系统
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微型热沉积系统



Description:

●尺寸:600(W)x1015(D)x1800(H)

真空室:350(D) x 440(H)

可实现<+/-3%的均匀沉积

极限压力 ≤5E-7Torr

衬底大小:3”



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