特性：

• 专为半导体行业设计

• 非金属，流体通道内无O型圈

• 渗流设计

• 无金属固定件，如拉杆或支架

• 有集成脉动均衡器可选

• 100级净室内组装

技术数据：

• 机加工的塑料设计，有聚乙烯（PE）和聚四氟乙烯（PTFE）两种材质

• 优化的聚四氟乙烯（PTFE）隔膜技术

• 五种尺寸：从10mm（3/8"）到38mm（1-1/2"）

• NPT接口

• **耐受温度：200° C（390°F）

• 精确的流体输送

性能数据：

• **流量：200lpm（52gpm）

• **吸程：干吸4m（13.1'），湿吸9m（29.5'）