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硅基氮化铝
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化合积电(厦门)半导体科技有限公司
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氮化铝是**应用潜力的超宽禁带半导体材料,具有很多优良的性质,如其禁带宽度高达6.2eV,同时具有高击穿场强、高饱和电子迁移率、高化学和热稳定性,及高导热、抗辐射等优异性能,因此氮化铝是紫外/深紫外LED、紫外LD**衬底材料,也是高功率,高电子婴件理想衬底材料。此外,氮化铝具有优良的压电性、高的声表面波传播速度和较高的机电耦合系数,是GHz级声表面波器件的优选压电材料。
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