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SuperView W1
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深圳市中图仪器股份有限公司
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中图仪器
SuperView W1
3062
汽车工业、半导体加工、精密加工、航空航天、国防军事、造纸工业、钢铁工业、薄膜加工、生物医学、MEMS、能源器件、微电子、信息存储、结构光学和通讯产品
SuperView W1三维光学轮廓测量仪是利用光学显微技术、白光干涉扫描技术、计算机软件控制技术和PZT垂直扫描技术对工件进行非接触测量，还原出工件3D表面形貌宏微观信息，并通过软件提供的多种工具对表面形貌进行各种功能参数数据处理，实现对各种工件表面形貌的微纳米测量和分析的光学计量仪器。
SuperView W1三维光学轮廓测量仪只需操作者装好被测工件，在检定软件上设定物镜倍率和测量模式后点击“开始”按钮，光学物镜会对工件表面进行自动对焦和非接触扫描，并按设定的位置进行测量，软件界面会实时扫描物体宏微观表面形貌；扫描结束后，操作者可通过分析工具对生成的3D形貌进行分析，得到如轮廓、厚度、粗糙度、体积等多种表面形貌测量分析数据。
该产品具有精度高、使用方便、功能强等优点，采用非接触式传感器扫描技术，用于对各种产品和部件的表面形貌特征进行测量和分析，它比传统的探针式轮廓仪操作更方便，测量精度更高。
由于采用非接触无损的测量方式，避免了对被测物体造成划痕和磨损，尤其适用于各种柔软材料、易腐蚀材料和传统方式无法检测的表面形态测量和分析。
还能够对各种表面的工件和材料从宏观到微观的进行长度、高度、间距、水平距离、垂直距离、角度、圆弧半径、表面粗糙度等几何参数进行亚微米、纳米级测量和分析。
系统软件为简体中文操作系统，操作方便。
SuperView W1三维光学轮廓测量仪性能特点：
1) 使用白光干涉测量技术，非接触式、非破坏性、快速表面形貌测量与分析；
2) 台阶高度测量分辨率达0.1 nm；
3) 可搭配黑白或彩色相机进行2D、3D显示和测量功能；
4) 配置电动鼻轮，可同时挂载多种物镜并程序化控制切换使用；
5) 采用双光源模式，适应特殊样品测量；
6) 测量范围100×100mm(可按客户定制尺寸)；
7) 配置低倍率物镜(2.5×和5×倍率)，可进行大面积3D测量；
8) 提供多种表面参数测量功能，如断差高度、夹角、面积、体积、粗糙度、波纹度、薄膜厚度及平面度；
9) 提供超过250多种各类参数（含2D、3D）计算；
10) 友好的人机界面，简便的图形化控制系统及3D图型显示；
11) 多种交换文件格式，可储存与读取多种3D轮廓文件格式；
SuperView W1三维光学轮廓测量仪应用：
SuperView W1三维光学轮廓测量仪广泛应用于汽车工业、半导体加工、精密加工、航空航天、造纸工业、钢铁工业、薄膜加工、生物医学、MEMS、能源器件、微电子、信息存储、结构光学和通讯产品等许多行业领域中。
各类光滑、连续光滑和适度粗糙物体表面从毫米到亚微米、纳米尺度的3D形貌轮廓、坐标、厚度、粗糙度、体积、表面纹理等测量。
SuperView W1三维光学轮廓测量仪技术指标：
光源 | 白光LED；绿光LED |
影像系统 | 1280×1024 |
普通物镜 | 1×、2.5×、5×、10×、20×、50×、100×、150× |
干涉物镜 | 5×、10×、20×、50×、100× |
坡度 | 小于42º |
物镜座 | 电控5孔物镜转盘 |
光学ZOOM | 1×或0.5× |
XY移动平台 | 测量范围：100×100mm（可根据客户需要定制） 精度：0.5µm 分辨率：0.01µm 负载：10kg 控制方式：自动 |
水平调整 | 手动调整，±4° |
Z轴 | 移动范围：100mm 分辨率：0.01µm |
PZT扫描 | 行程：100µm 分辨率：0.8nm 重复性：5nm 扫描速度：≤30µm/s |
测量模式与精度 | 垂直扫描VSI； 准确度（4.43µm台阶高）：0.75% 重复性（4.43µm台阶高）：0.1% 相移法扫描PSI： 准确度（57nm台阶高）：1.5% 重复性（57nm台阶高）：0.3% |
一般测量时间 (扫描范围10µm) | VSI：10S；PSI：3S |
