1、无刷伺服电机驱动，保证设备稳定可靠及洁净度要求。

2、 迷宫式氮气密封，腔内与腔外隔离，无接触式密封效果，确保工艺环境要求。

3、 采用PTFE 气控阀组件，PVDF 管路及接头。

4、采用316L 不锈钢材质，表面电解抛光处理。

5、冲洗，吹净，吹干，烘干功能，利用高速旋转离心力，把残留附着化学试剂及颗粒尘埃甩除，

同时洁净氮气把残留颗粒尘埃带走，使产品表面洁净干燥洁净。

6、静电消除功能，产品高速运动时会产生静电，利用高压除静电装置使产品表面达到中和状态。

7、机械自复位功能，停机待机片盒朝上。

8、氮气压力，门密封状态，片盒朝上等条件保护。

9、 控制单元独立控制，独立运行，操作简单，维修方便。