一、设备组成

这是一款智能型大口径高真空退火炉。该设备主要分为三大部分：大口径加热炉、分体式高真空机组、真空冷井。

1、大口径加热炉：

加热炉膛采用超轻氧化铝纤维材料，配K型热电偶，三个加热温区分别进行单点控温；设备升降温控制灵活、恒温区长，控温准确。

2、真空冷井

真空隔层冷井，易拆、易清理可接低温冷凝水对气体进行冷却处理

3、高真空机组         

集成结构高真空机组，配进口前级泵和分子泵，真空度高。带1路质量流量计可做氮气破空。

二、技术参数