ESMFM-610 皂膜气体流量标准装置，采用高灵敏度红外光电管采样、精密电路控制、微电脑处理、触摸屏操控及显示、多通道测量，显示直观、操控方 便、数据准确、测量范围大并可保存多达 10W 条以上黑历史测量数据。该仪器广泛用于小气体流量的测量及泄漏率的检测。高配置款内置 4 路高精度、高控制稳定性的气体质量流量控制器（MFC），为测量提供高精度、高稳定性的气体输出，使测量更加精度、便捷。 

执行标准  JJG 586-2006 《皂膜流量计检定规程》