产品简介：

SE椭偏仪系列薄膜分析产品来自美国AST公司，其可以实现薄膜厚度精准测量，同时可以实现12层的薄膜厚度测试，同样对于材料NK参数也可以实现准确测量，为人们针对薄膜进行分析提供了极大便利。

特点：

· 易于安装

· 基于视窗结构的软件，很容易操作

· 先进的光学设计，以确保能发挥出**的系统性能

· 能够自动的以0.01度的分辨率改变入射角度

· 高功率的DUV－VIS光源，能够应用在很宽的波段内

· 基于阵列设计的探测器系统，以确保快速测量

· *多可测量12层薄膜的厚度及折射率

· 能够用于实时或在线的监控光谱、厚度及折射率等参数

· 系统配备大量的光学常数数据及数据库

· 对于每个被测薄膜样品，用户可以利用先进的TFProbe3.0软件功能选择使用NK数据库、也可以进行色散或者复合模型（EMA）测量分析；

· 三种不同水平的用户控制模式：专家模式、系统服务模式及初级用户模式

· 灵活的专家模式可用于各种独特的设置和光学模型测试

· 健全的一键按钮(Turn－key)对于快速和日常的测量提供了很好的解决方案

· 用户可根据自己的喜好及操作习惯来配置参数的测量

· 系统有着全自动的计算功能及初始化功能

· 无需外部的光学器件，系统从样品测量信号中，直接就可以对样品进行精确的校准

· 可精密的调节高度及倾斜度

· 能够应用于测量不同厚度、不同类型的基片

· 各种方案及附件可用于诸如平面成像、测量波长扩展、焦斑测量等各种特殊的需求

· 2D和3D的图形输出和友好的用户数据管理界面。

系统配置：

· 型号：SE200AM-M300;SE500BA系列

· 探测器：PMT

· 光源：高功率的DUV-Vis光源

· 指示角度变化：根据设定的程序，自动变化

· 平台：ρ-θ配置的自动成像

· 软件：TFProbe 3.2版本的软件

· 计算机：Inter双核处理器、19”宽屏LCD显示器

· 电源：110–240V AC/50-60Hz，6A

· 保修：一年的整机及零备件保修

规格：

· 波长范围：250nm到850 nm

· 波长分辨率: 0.1nm

· 光斑尺寸：1mm至5mm可变

· 入射角范围：10到90度

· 入射角变化分辨率：5度 间隔

· 样品尺寸：**直径为300mm

· 基板尺寸：*多可至20毫米厚

· 测量厚度范围*：0nm〜10μm

· 测量时间：约1秒/位置点

· 精确度*：优于0.25％

· 重复性误差*：小于1 Ǻ

选项:

· 用于反射的光度测量或透射测量

· 用于测量小区域的微小光斑

· 用于改变入射角度的自动量角器

· X－Y成像平台(X-Y模式，取代ρ-θ模式)

· 加热/致冷平台

· 样品垂直安装角度计

· 波长可扩展到远DUV或IR范围

· 联合MSP的数字成像功能，可用于对样品的图像进行测量

应用:

· 半导体制造（PR，Oxide， Nitride..)

· 液晶显示（ITO，PR，Cell gap... ..）

· 医学，生物薄膜及材料领域等

· 油墨，矿物学，颜料，调色剂等

· 医药，中间设备

· 光学涂层，TiO2， SiO2， Ta2O5... ..

· 半导体化合物

· 在MEMS/MOEMS系统上的功能性薄膜

· 非晶体，纳米材料和结晶硅

· 太阳能电池工业

应用实例:

客户遍布全球主要科研大学及主要半导体厂商：

NIST

ISMI

NASA

JPL

Marshall Space Center

Air Force

MIT

Columbia University

UC Berkeley

Georgia Tech

University of Virginia

USTC，China

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Bell Laboratories

HP

GE

Lockheed Martin

Corning

Applied Materials

First Solar

Dow Chemical

Samsung

Texas Instruments

National Semiconductor

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详情关注：北京燕京电子有限公司