高通量(场发射）扫描电子显微镜 Navigator-100

Navigator-100高通量场发射扫描电子显微镜，专为跨尺度大规模样品SEM表征分析而设计，广泛应用于科研及工业等领域。其自动化超高速的纳米成像技术，为您提供超凡的成像体验。

-产品介绍

聚束科技独立研发并拥有自主知识产权的Navigator-100高通量（场发射）扫描电子显微镜，通过对成像技术、运动平台、电路控制及智能算法的系统化创新设计，实现了全球**通量成像，成像速度可达到传统电镜的数十倍以上。其全部采用直接电子探测器的技术方案，成功克服了传统SEM技术在速度、精度和样品损伤等方面的局限性，颠覆性地将扫描电镜从传统意义上的纳米“照相机”提升为纳米“摄像机”。同时操作简单，全自动一键换样，7*24小时无人值守运行，全面提升科研效率。

我们将成熟的工业化高通量电镜检测技术应用在生命科学、材料研究、半导体工业、地质资源等领域。尤其在神经生物学3D重构、材料大面积表征分析、半导体反向工程、纳米技术分析等应用领域有显著优势。

-产品优势

• 综合成像速度＞10倍传统电镜

• 全球*快二次电子与背散射电子双通道同步成像

• 海量SEM图像快速生成数据分析报告

• 从百毫米到纳米级的跨尺度材料表征

-产品特点

极速成像

通过自主研发的硬件和软件设计，实现全球*快二次电子与背散射电子双通道同步成像：视频级高分辨成像2×100M像素/秒），6秒钟即可拍摄一张6亿像素超高清图像（区域：50μm×50μm分辨率:24K×24K ）。相较传统意义扫描电镜，其扫描速度高出一个数量级以上。

高清视频级摄像帧率（2×200帧/秒@512×512，或2×60帧/秒@1024×1024），使其具有实时观测样品动态变化的能力。

高成像质量

独特的浸没式电磁复合物镜系统，有效地减小低落点能量下物镜的象差，达到极高分辨能力（1.5nm @ 1 kV 1.0nm @ 5 kV）。

与物镜场复合的静电式扫描偏转系统，相比于传统电镜的磁偏转系统，极大地减小图像边沿畸变，可获得兼具高分辨率和大视野（pixel size 2nm@Field of view 50um，水平畸变1/1000以下，垂直畸变1/10000以下）的**图像

In-Lens SE与BSE半导体直接电子探测器，双通道同时高速成像，兼具高灵敏度和高信号电子收集效率，即使在nA级别的大束流条件仍可获得**的图像衬度和信噪比。

配备主动补偿系统（激光干涉振动补偿、电磁干扰主动补偿），消除环境因素干扰，保证成像高分辨率高质量。

跨尺度大规模成像

超高速扫描成像能力，结合全自动聚焦跟踪系统和A.I.图像处理算法，实现对超大区域（150mm*150mm）样品进行高分辨率全自动不间断矩阵式扫描，并自动拼接获得大尺寸纳米级分辨率的全景地图式成像，使之具备了跨尺度信息融合能力，可实现从纳米级到毫米级的跨尺度材料表征。

智能分析

大数据智能分析 ，海量SEM图像快速生成数据分析报告；

智能图像处理，定制化图像测量、统计、分析。

操作简单

全自动样品载入与导航，一键完成样品更换，操作便捷，节省工时。大场光学成像导航与SEM成像无缝衔接，对指定区域快速准确实现定位和观测。

7*24小时全自动化无人值守运行能力。