六自由度高精度并联运动

无轴间运动串扰和误差累计

低运动惯量，高结构刚度

可自由设定旋转中心

特殊设计可承受1000公斤以上负载

从1轴到6轴运动

并联运动和并联测量技术

保持记录的高**精度与重复精度

可选电容传感器**可达0.02nm闭环分辨率

定制型号可选择铟钢、钛等不同材料

从1轴到6轴的直线与旋转运动

直线电机/陶瓷电机/步进/直流伺服

独有的大行程纳米定位技术

力矩电机+气浮轴承超高精度转台

直线台/升降台/旋转台/摇摆台/多轴台

**压电陶瓷技术，高可靠性，长寿命

亚纳米级位移分辨率，微秒级响应时间

输出力**可达50000N

无机械空回，无静摩擦和滑动摩擦

不受磁场干扰，提供真空、低温兼容产品

1维至2维超快可控偏摆运动

光学偏摆范围**可达120mrad

超快响应时间，超高角度定位精度

大量用于光学追踪、扫描、稳像等应用

可根据用户的不同需求进行定制

压电陶瓷电机/直线电机/步进/直流伺服

PiezoWalk技术提供毫米级运动行程和亚纳米级分辨率，大推力，可自锁

PiezoWalk系列超小尺寸高速运动

可根据不同推力、行程、速度和精度要求进行定制

单系统1轴到6轴，以及多轴串接

模拟和数字多种内部结构可选

RS232，USB，TCP/IP等多种计算机接口

先进的低噪声驱动和高级控制算法

提供控制界面和二次开发包，支持LabView， C++， VC， VB， Delphi， Matlab等

单通道及多通道系统

微步控制/混合控制/实时差补/并行控制

RS232，USB，TCP/IP，CAN等多种接口

多通道系统多种控制网络方式可选

提供控制界面和二次开发包，支持LabView， C++， VC， VB， Delphi， Matlab等

位置、运动、振动的非接触测量

量程从10微米到1000微米

皮米级位移分辨率，10KHz的带宽

耐高温，长时间稳定性（<0.1nm/3h）

无磁及真空环境兼容