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NextScan飞秒激光多面扫描镜

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产品介绍

多面扫描镜(Polygonal Scanners)，可实现大范围、高精度、超高速、高重复性的激光光束扫描。相比振镜扫描，多面扫描镜具有更快的扫描速度且具有更高的损伤阈值。

多面扫描镜(Polygonal Scanners)系统：提供不同扫描宽度，不同工作波长和聚焦光斑尺寸，可满足您对再现性和准确性的要求。

集成的远心平面镜片实现了紧凑型一体化即用型的扫描头，可以实现高性能及高效率的微加工要求。

备有通用型的控制器，易集成于线性平台和卷式行业标准运动控制系统中。系统接口可以兼容传统激光和脉冲激光。另外，模块化的设计可以按照客户需求进行快速定制。

所有扫描头都配备通用接口，控制器通过以太网控制。能多面扫描镜系统

High Performance Polygon Scanner Systems

规格参数：

Optical specifications光学规格	Standard标准规格
Scan width扫描宽度	300 mm		170 mm
Wavelength波长(nm)	355-375	515-532		1030-1070
Minimum Spot小光斑尺寸(FWHM)1*	9 μm	13 μm		26 μm
Minimum Spot小光斑尺寸(1/e2 dia)*	15 μm	22 μm		44 μm
Input beam diameter(1/e2 dia) 输入光斑直径(1/e2 dia)	11 mm		6 mm
Input clear aperture输入数值孔径	19 mm		10 mm
Position Accuracy定位精度	± 10 μm or ±1 μm 2
Line straightness线平直度	15 μm or 1 μm 2
Spot repeatability光斑重复性	< 3 μm 3
System specifications系统规格
Input beam输入光斑	Parallel beam
Scan speed扫描速度	56 – 224 lines per second		100 – 400 lines per second
Moving spot speed光斑移动速度	25 – 100 meters per second
Scanner mechanical efficiency 扫描头机械效率效率	71 %
Optical efficiency光学效率	> 85 % GR/IR
Average Laser power 1平均激光功率	140 W (>7 ps) 50W (200 fs)
Minimum pulse width*小脉冲宽度	> 200 fs
Maximum pulse energy*小脉冲能量	150 μJ (ps) 50 μJ (fs)
Mechanical interface机械接口	Industry standard interface
Scanner to substrate clearance 扫描头到基板距离	26.5 mm		18 mm
Power consumption功率	125 W max.
Electrical supply电源	Mono + earth 50/60 Hz， 100-240 VAC
PC Connection电脑链接	Ethernet TCP/IP protocol and USB3
Cable Length连线长度	Max. 5 meter between scanner unit and control electronics