规格型号

SpecEI-2000光谱型椭偏仪

厚度范围

1nm～10um

厚度分辨率

0.1nm (1埃)

重现性：

70nm SiO2 on Si

cos(Delta) ±0.0003， tan(Psi) ±0.0002

光斑大小

300×1200 um（小尺寸光斑可选配）

光学参数

可得出：n（折射率）、k（吸收率）值

折射率精度

0.005

光谱范围

400～1000nm （可选290～1050nm）

光谱分辨率

1 nm

入射角度

70°（其他角度可选配）

薄膜层数

> 3层

参考测量

不需要参考，直接测量

膜层材料

波片、光学材料等

透明膜

可以测透明膜

测量速度

7～13秒

样品定位**允许误差

高度允许误差±3mm；光入射角允许±1°

不需进行高度和倾斜角调整

显微镜

可与显微镜匹配使用

可视

可显微观察，与显微镜匹配使用

扫描测量

可以扫描测量，扫描直径6英寸或12英寸

真空应用

由用户自行选购后，可以在真空环境中使用

SpecEL-V1.1

操作界面友好，使用简单的测量软件。

测量膜厚、n值、k值、膜层结构编辑功能