技术参数：

测量模式： STM/ AFM (接触 + 轻敲+非接触)/ 横向力/ 相位/ 力调制/力谱/粘附力/ 磁力/静电力/ 开尔文/ 扩展电阻/纳米压痕/纳米刻蚀: AFM (电压刻蚀 + 力刻蚀)

扫描方式：样品扫描

测量头部：AFM和SPM（全内置自动切换），可选配液相模式和纳米压痕测量头

**样品尺寸：直径20mm，厚度10mm

XY样品定位装置：移动范围5×5um，软件控制电动定位

XY样品定位装置*小步进：0.3um

扫描范围：100×100×10um（三维全量程闭环控制扫描器），3×3×2um（低电流模式扫描器）

XY方向非线性度：≤0.1%（闭环控制扫描器）

Z方向噪音水平（带宽10~1000Hz时的RMS值）：闭环控制扫描器（典型值0.03nm，**0.04nm），低电流模式扫描器（0.02nm）

激光光路系统：电动调节，全自动准直

视频显微系统：软件控制电动变焦和连续变倍，软件控制变换视野，分辨率2um

样品温度控制：室温~150℃

主要特点：

全自动化桌面型SPM

直观易用的软件界面

全自动切换AFM和STM扫描头

自动调整激光光路（悬臂—激光—四象限光电探测器）

软件控制的电动样品定位平台

视频显微镜系统软件控制电动聚焦和变倍

视频显微镜系统软件控制定位样品观察视野

电动开关样品室门

切换不同的测量模式，软件自动调节**参数

人体工程学设计