反射高能电子衍射仪（Reflection High-Energy Electron Diffraction）是观察晶体生长*重要的实时

监测工具。它可以通过非常小的掠射角将能量为10～30KeV的单能电子掠射到晶体表面，通过衍射斑

点获得薄膜厚度，组分以及晶体生长机制等重要信息。因此反射高能电子衍射仪已成为MBE系统中

监测薄膜表面形貌的一种标准化技术。

　　R-DEC公司生产的反射式高能电子衍射仪，以便于操作者使用的人性化设计，稳定性和耐久性以

及拥有高亮度的衍射斑点等特长得到日本国内及海外各研究机构的一致好评和认可。

特长

◆可远程控制调节电压，束流强度，聚焦位置以及光束偏转

◆带有安全闭锁装置

◆镍铁高导磁合金磁屏蔽罩

◆拥有高亮度衍射斑点

◆电子枪内表面经特殊处理，能实现极低放气率

◆经久耐用，稳定可靠

◆符合欧盟RoHS指令

　　低电流反射高能电子衍射仪（Low Emission Reflection High-Energy Electron Diffraction）是利用微通道板技

术，大幅减少对样品损伤的同时，并且保证明亮反射电子衍射图像的新一代低电流反射高能电子衍射仪。可以用于有机薄膜材料等结晶结构的分析研究。

特长

◆大幅度减少电子束对样品的损伤

（相当于普通RHEED的1/500-1/2800）

◆带有安全闭锁装置

◆搭载高亮度微通道板荧光屏

◆可搭载差动抽气系统

◆kSA400 RHEED分析系统兼容

◆符合欧盟RoHS指令