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成都真空设备 半导体制程PVD沉积台

CM-007

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成都汉普升科技有限公司

四川成都

产品规格型号
参考报价:

100-150万元

品牌:

超迈光电

型号:

CM-007

关注度:

345

产品介绍

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●本装置使用电阻蒸发、电子束蒸发和离子源辅助清洗、辅助沉积和原位刻蚀进行复合,用于制备特种薄膜,薄膜具有均匀性、附着力、抗损伤、低颗粒物污染等特点,是半导体制程中关键工序的核心装备,其技术长期被美国、日本等国技术巨头所垄断,属于国内卡脖子装备,也是制约国内半导体领域自主可控的关键设备,该设备的技术突破和产业化对国内半导体产业发展具有积极意义。


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成都真空设备 半导体制程PVD沉积台

CM-007

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