压电驱动纳米位移台，使用压电陶瓷作为运动促动元件，可以在数百毫米范围内实现亚纳米级别的步长，从而解决了传统纳米台行程小而微米电动台分辩精度不高的问题。在科研市场、半导体市场、先进制造业、生物医药行业、光学、通信等行业有广泛应用。

自主研发的压电驱动纳米位移台，具有运动无需润滑，真空兼容，可在从液氦温区（-269摄氏度）至室温的宽温区内工作等优点。具有步进和扫描双工作模式，在宏观行程范围内达到亚纳米分辨率的定位。

线性压电纳米位移台ML-15A大行程直线位移台，不仅拥有紧凑的安装尺寸，同时还兼具低温真空等应用环境。支持定制纳米位移台。

产品优势

• 结构紧凑，高刚性

• 零间隙，高精度柔性铰链导向系统

• 室温到液氦工作温度，真空兼容

• 压电陶瓷促进器具有超长使用寿命

• 带位移传感器，提供位置和速度闭环控制

产品应用

电子显微镜原位纳米探针台，半导体芯片检测，光刻机工件台，微生物操纵手，光纤焊接