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英福康（广州）真空仪器有限公司
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ADC100直流放弧探测器

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产品介绍

特征概览:

  • 监测直流电源的电压及功率传输
  • 高速采样频率，可达10万赫兹

应用：

  • 用于探测半导体，平板显示器及太阳能等行业PVD腔体工艺制程过程中等离子体放弧（Arcing）。

获取更多信息，请访英福康（广州）真空仪器有限公司 网站

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ADC100直流放弧探测器

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