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CFD系列精细流量调节的化学液补充系统
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CFD系列精细流量调节的化学液补充系统
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高分辨率
*小流量达1mL/shot，为晶圆清洗过程中所需的化学凝结控制，提供更高的准确性。
CFD系列能提供准确流量，防止过量添加或液体浪费。此外，防虹吸设计防止意外吸入。
耐腐蚀过流端
氟材质口过流端(PTFE / PFA / PCTFE)是能够处理半导体加工所用的强酸、强碱和双氧水。
针对化学腐蚀，PTFE / PFA / PP / PVC材质外部零件和PTFE涂层螺丝能提供额外的保护。
宽广的吐出率调节
打开底盖可轻松在1.0-2.7ml/shot之间调节冲程长度 (出厂默认设定是1.0ml/shot)。
配备泄漏传感器
每台泵都配有泄漏传感器，可实时检测任何泄漏情况。
**吐出量 | 1 mL/shot |
**吐出压力 | 0.05 MPa |
**冲程率 | 30 spm |
主要材质 | PTFE, PFA, PCTFE |
液体输送温度范围 | 20 ~ 60 °C |
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