柯林斯空气净化科技有限公司生产的高压/超高压系列纯化产品采用国际先进的催化剂/吸附剂和吸气剂(Getter)技术，可用于纯化大宗气体(N₂,Ar,He,H₂, 0₂,CO₂等),气体流量从10Nm3/h到10000Nm3/h, 压力范围从16MPa 到24MPa, 纯化后 气体中H₂O、O₂、CO、CO₂、CH4等分项杂质含量小于1ppb。 该系列纯化设备可应用于超高纯气体生产、标准气体和电子混合气的平衡气纯化等。

典型应用

芯片半导体、 LED、激光、光纤行业、集成电路产业

工艺介绍

1、气体通过高温催化氧化工序将气体的N2和CH4等杂质还原成H20 和CO2

2、吸附柱吸附饱和后可加热再生、反复使用。

3 、气体通过多级物理吸附，常温催化工序，深度脱除气体中的0₂、H₂O、CO₂、CO、H2等杂质 。

纯化指标表

*表中只列出典型的和常见的气体，更多可纯化气体请与柯林斯联系