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Femto Science 等离子清洗机 表面处理设备 CUTE
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简介
CUTE系列等离子清洗机来自韩国FemtoScience公司，是一款无损伤的等离子体处理表面处理系统，其独特的设计保证了高度稳定和均匀辉光放电等离子体产生，可应用于微流控、组织工程、石墨烯、2D材料等纳米科学以及微电子领域，适用于诸多材料表面清洁、疏水性增强、层间粘附、刻蚀等操作，标配一路自动气体流量计，可实现对工艺气体的准确控制。
CUTE系列等离子清洗机，其舱体采用铝合金制作，坚固耐用且抗腐蚀，其舱体自带显示屏，配合显示屏下方的操作按钮，使用简单，方便快捷。
规格参数
项目 | 参数 |
舱体材质 | 铝合金 |
舱体内部尺寸 | 140mm x 200mm x 110mm |
电源频率 | 20~100kHz |
电源功率 | zui大100W 可自由调节 |
标准气体输入 | 1 x 气路 |
额外气体输入 | 2 x 空管道可供升级 |
气体流速控制 | MFC自动控制 |
zui大流速 | 100sccm |
气体流速控制精度 | 满量程的1% |
真空泵抽气速率 | 80L/min |
zui小真空 | 1 x 10-3 Torr |
真空测量范围 | 大气压 ~ 5 x 10-5 Torr |
显示 | 彩色触摸屏，图形化控制界面 |
操作员分级 | 2级操作人员分级 |
程序 | 可进行半自动控制和全自动编程控制 |
参数存储 | zui大10组工艺参数储存，每组工艺包含zui多10个工艺步骤 |
功能图解
应用系统
PDMS芯片制作
石墨烯，2D材料表面处理
Bio-MEMS
组织工程
食品科学
