应用领域：

◆Solar

◆LED

◆Thin Film

◆Etching

◆Diffusion

技术参数：

WTC-100: NH3>99% BCL3>99% HCL>99% Cl2>99% (+NaOH) HBr>99%

WTC-200: NH3>99% HCl>99% PH3>99% SiCl2H2>99% SiH4>99% WF6>99% H2>99% ClF3>99%

WTC-300: TEPO>99% B2H6>99% NF3 >95% NH3 >99% PH3 >99% SiH4>99% TEB>99 TEOS>99% WF6>99% MA>99% HCl>99% HF>99% GeH4>99% SiCl2H2>99%

公司介绍:

汉科系统科技创立于公元1990年，经营团队多年来的努力已成为全方位系统整合的领导厂商之一，汉科团队的专业技术能力和丰富的工程实务经验，成立了全方位的系统整合服务平台。

汉科系统科技获得的国际质量管理的认证有ISO 9001， SEMI S2， 和OHSAS 1800。公司内部严格的控管生产及施工步骤，如工安管制，质量管理，采购控管、项目进度控制、现场协调、预算控制、材料查验...等。

产品优点：

◆简单界面，易于操作；

◆粉尘捕捉效率高；

◆节约用水；

◆符合工厂设备安全要求；

◆PM周期长，且PM时间短；

◆运行成本低；

◆可根据客户需求，提供客制化服务。

◆客服响应时间短，备品备件充足